রাসায়নিক যান্ত্রিক পলিশিং মেশিন একটি প্রক্রিয়া পরীক্ষার যন্ত্র যা ইলেকট্রনিক্স এবং যোগাযোগ প্রযুক্তি, বিমান চালনা এবং মহাকাশ বিজ্ঞান এবং প্রযুক্তির ক্ষেত্রে ব্যবহৃত হয়
সিলিকন ওয়েফার পেস্ট করতে ডিওনাইজড জল ব্যবহার করুন বা পলিশ করার জন্য ভ্যাকুয়াম শোষণ সিলিকন ওয়েফার ব্যবহার করুন, মোম করার ঐতিহ্যগত উপায় ত্যাগ করুন এবং সিলিকন ওয়েফার পেস্ট করুন, যা পলিশ করার পরে সিলিকন ওয়েফারগুলি পরিষ্কার করার জন্য সহায়ক। 2. পিছনে চাপ ফাংশন সঙ্গে, এটি উল্লেখযোগ্যভাবে মসৃণতা অভিন্নতা উন্নত করতে পারেন. 3. অতিরিক্ত মসৃণতা প্রতিরোধ করার জন্য একটি মসৃণতা শেষ পয়েন্ট সনাক্তকরণ সিস্টেম দিয়ে সজ্জিত. একটি উদাহরণ হিসাবে SiO2 নিলে, WIWNU (ইন-চিপ নন-ইউনিফর্মিটি) 3 শতাংশের কম বা সমান, WTWNU (ইন-চিপ নন-ইউনিফর্মিটি) 5 শতাংশের কম বা সমান , এবং RMS (20μm ×20μm) 0.4nm এর কম।
